超高精度直接驅動垂直線性平移臺產品規格

型號
	XMS50V	XMS100V
行程范圍	50 mm	100 mm
最大速度	300 mm/s	300 mm/s
中心負載能力	100 N	100 N
最小位移增量	0.05 µm	0.05 µm
精度，保證值	± 0.75 µm	± 0.75 µm
雙向重復精度，保證值	± 0.05 µm	± 0.05 µm
限位開關	Optical, fiducial on encoder	Optical, fiducial on encoder
原點	Optical, at center of travel, including mechanical zero signal	Optical, at center of travel, including mechanical zero signal
電纜長度	5 m	5 m
俯仰順應性	2.5 µrad/Nm	2.5 µrad/Nm
滾轉順應性	2.0 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm
偏擺順應性	3.5 µrad/Nm	3.5 µrad/Nm
直線度，平面度	± 0.75 µm	± 0.75 µm
重量	3.5 kg	3.5 kg
MTBF	20,000 h	20,000 h

超高精度直接驅動垂直線性平移臺特征

超高性能電動臺技術

Newport的XM系列直線電機平臺具有優秀的動態性能。 XMS100V垂直工作臺由安裝在高平坦度垂直板上的標準XMS100線性工作臺和連接至滑架的低摩擦氣缸組成。結果是一個垂直平臺，可為聚焦，傳感器測試和校準，直接激光光刻，光纖對準，超精密組裝等應用提供超高精度和長行程。該視頻演示了由XM線性和垂直平臺構成的XYZ運動系統。

平衡選項

直接驅動電機、借助于平衡負載、抵消重力的影響、減輕電機的工作并具有線性電機的所有優勢。氣動平衡選項可針對不同負載進行調整。即使在切斷電機電源時，磁平衡選項也可防止托架向下漂移。

磁平衡

防蠕動式交叉滾子軸承

與楔形設計相比，由相配對的抗蠕變交叉滾子軸承組成的直接垂直導軌，可在高靈敏度操作中實現無波紋運動，同時防止罩移位。

高精密線性編碼器

高精密玻璃線性編碼器可提供精確的位置反饋，支持 50 nm 的 MIM。該低熱膨脹標尺的精確對準和安裝使溫度變化對平移臺重復性和精度的影響降至很低。

T 形托架

在 XMS-V 上使用的 T 形托架進行過剛度優化，并且與使用 C 形托架設計的平移臺相比，它支持更大的懸臂負載。保持平移臺預載荷要求有改進的剛度。

高精密平滑運動

無鐵直接驅動技術支持高動態運動，基本上沒有反沖、滯后、卷繞或靜摩擦；導致持續降低和更多可重復的跳動。此外，由于沒有驅動螺絲，可實現高精密定位所需的無波紋運動

擴展垂直平移臺的功能

只有 XMS-V 通過更高的精度和改進的動態運動達到垂直平移臺性能的新高度。其增強的性能可解決更廣泛的具有挑戰性的應用。

XMS-V負載圖

免費提供計量報告

Newport 保證根據 ASME B5.57 和 ISO 230-2 標準測量和記錄的規格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.